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      氦質譜檢漏儀

      技術中心

      標準漏孔

      標準漏孔

              氦質譜檢漏儀校準的基準是標準漏孔,標準漏孔是在一定條件下向真空系統內部提供已知氣體流量的元件。一般要明確這個氣流量(即漏率)的氣體種類、溫度、壓力等條件。如果不特別指明,則指溫度為296±3K、入口壓力為1.01×105Pa、出口壓力低于1.33×103Pa的干燥空氣(其露點溫度低于248K)的漏率。

              1.玻璃毛細管型標準漏孔(圖中a)是用局部拉細的玻璃毛細管制成的,漏率為10-8~10-7Pam3/s。 

             2.金屬壓扁型標準漏孔(圖中b)通常是用無氧銅或可伐管壓制而成,漏率為10-8~10-6Pam3/s。 

             3.玻璃鉑絲型標準漏孔(圖中c)是利用玻璃與鉑絲的不匹配封接制成的。當鉑絲直徑為0.1~0.5mm;封接長度為5~10mm時,漏率約為10-7Pam3/s。當溫度改變時,其漏率變化。若296K的漏率為qL、296,則溫度T時的漏率為式(8)。式中f(T)的曲線如圖11所示。 

             4.薄膜滲氦型標準漏孔(圖中d)是利用石英薄膜球泡的滲氦速率制成的,其漏率一般為10-5~10-9Pam3/s。由于溫度對漏率的影響很大,使用時應當注意修正。如果溫度T1時漏孔漏率為qL、T1,使用溫度T2時的漏率應為式(9)。式中,E-氦在石英中的滲透激活能;R-摩爾氣體常數。


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