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      氦質譜檢漏儀

      技術中心

      氦質譜背壓檢漏方法研究

      氦質譜背壓檢漏方法研究

             闡述了氦質譜背壓檢漏的特點及目前存在的問題, 在此基礎上提出了改進建議。深入探討了預充氦背壓法測得的測量漏率與等效標準漏率的關系, 指出預充氦背壓法可用于檢測壓氦背壓法檢測不到的小漏孔, 給出了等效標準漏率對測量漏率具有的雙值均在分子流范圍時的鑒別方法。

        D. A. Howl 和C. A.Mann[1965 年在Vacuum 雜志上發表背壓檢漏技術 一文, 采用壓氦( by bombing) 處理后用氦質譜檢漏儀檢漏的技術解決了密閉器件分子流漏孔檢測的基本理論問題。在此基礎上, 美國試驗與材料學會標準ASTM E 493 及我國航天行業標準QJ 3212 又增加了預充氦( by prefilling )處理法, 并統稱為氦質譜儀背壓檢漏方法( Test Methods for Leaks Using the Mass Spectrometer Leak Detector in the Inside

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