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      氦質譜檢漏儀

      技術中心

      動態流導法校準真空計的方法

      動態流導法校準真空計的方法

      動態流導法有時也稱為動態流量法和小孔法校準,它是建立在氣流連續性原理、分子流狀態和等溫條件基礎上的,由于是動態校準,吸氣和放氣的影響很小。在分子流狀態下,流導公為結構幾何尺寸的函數,與壓力無關。其校準下限隨真空獲得和小流量測量水平而延伸。是目前超高真空和極高真空的切實可行的校準方法。

        動態流導法校準原理是根據氣體分子運動論原理,利用薄壁小孔作標準流導產生已知低壓力的。

      image.png 

      圖:動態流導法校準真空計的方法

        圖是這種校準方法原理示意圖。首先將校準室壓力抽至校準壓力下限以下2~3個數量級,這樣計算校準壓力時可忽略本底的影響。校準氣體以穩定流量pG通過針閥K,由進氣管注入校準室。氣體以分子流流經一薄壁小孔并由真空系統抽除。在達到動態平衡時,在小孔上方的校準室建立起已知的低壓力p,用它來校準真空計G。校準室的壓力可由式29計算。

      由于系統的有效抽速比小孔流導大很多,故使得小孔下游的壓力戶。遠小于校準室壓力p,這樣小孔下游壓力測量值誤差對校準壓力的影響很小。因此,只要根據校準氣體流量qG、小孔流導C和小孔下游壓力pb,就可以計算出校準室壓力來。

      校準氣體的流量qG由流量計測量。流量范圍為10-7~10-3Pam3s-1,其測量精度可達士O.5%,壓力校準范圍是10-5~lO-1Pa。

        由于很難測定微小的流量,也就直接限制了校準壓力下限。采用分流的辦法,能擴展壓力校準下限,這就是二級動態流導校準法。


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      相關標簽: 真空計,真空計校準,氦質譜檢漏儀

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