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      氦質譜檢漏儀

      技術中心

      靜態膨脹校準低真空計方法

      靜態膨脹校準低真空計方法

      1910年克努曾Z早提出靜態膨脹法壓力校準系統。靜態膨脹校準低真空計時,因為容器壁吸、放氣不顯著,校準精度較高。在高真空校準時,由于器壁吸、放氣顯著,必須設法減小其影響。此方法制作簡單、操作方便、運算迅速、檢定效率高,且排除了汞蒸氣對人的危害。

        膨脹法校準是基于波意耳定律,即在恒定的溫度下,一定質量的氣體的壓力與體積之積為一常數。

      image.png 

      圖1:單級膨脹系統工作示意圖

        單級膨脹系統工作示意圖見圖1所示。首先將氣源室中充有需要壓力為p1的校準氣體,由標準真空計G2測量。再將校準室抽氣至低于校準壓力下限兩至三個數量級。這樣可略去校準室本底壓力對校準的影響。

        每操作一次傳遞閥K4,就將由氣源室中的壓力為p1容積為傳遞容積Vs的氣體輸送到校準室。第一次膨脹后,校準室壓力見下面公式:

      image.png 

        第n次膨脹之后,校準室的壓力pn見式28。

        此法計算簡單,如校準高真空可用雙級膨脹


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      相關標簽: 真空計,真空計校準,氦質譜檢漏儀

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