氦質譜檢漏儀

技術中心

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  • 密封微電子器件氦細檢漏和氟油粗檢漏的試驗程序、操作及細節

  • 真空計校準方法概述

  • 靜態膨脹校準低真空計方法

  • 動態流導法校準真空計的方法

  • 電離真空計

  • 標準壓縮式真空計比對校準真空計的方法

  • 電離真空計的校準的注意事項

  • 電容薄膜真空計的校準注意事項

  • 真空計的適用壓力范圍

  • 真空計分類及工作原理

  • 真空計快速選型的思路

  • 大型真空容器的漏率控制與密封設計

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